Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, ein Mitglied der Busch Group, präsentiert mit dem HiCube Neo RGA ein leistungsstarkes, kompaktes System zur präzisen Restgasanalyse. Es kombiniert eine Turbomolekular-Vakuumpumpeneinheit mit einem integrierten PrismaPro Massenspektrometer und eignet sich für vielfältige Anwendungen.

Das System ermöglicht exakte Gasanalyse im Bereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum. Mit seiner einfachen Bedienung, hohen Empfindlichkeit und flexiblen Anschlussmöglichkeiten ist es ideal für Anwendungen in der Beschichtung, in Vakuumöfen, bei der Lecksuche und weiteren Analyseaufgaben geeignet.
Restgasanalyse mit integrierter Hochvakuumtechnologie
Der HiCube Neo RGA ist speziell auf die Anforderungen moderner Restgasanalyse zugeschnitten. Die in das System integrierte Turbomolekularpumpe erzeugt das notwendige Hochvakuum für die Massenspektrometrie. Das PrismaPro Massenspektrometer detektiert zielgerichtet den spezifischen Massenbereich relevanter Gasmoleküle. Dadurch lassen sich Restgase zuverlässig identifizieren und analysieren. Die kompakte Bauweise und Plug&Pump-Funktionalität ermöglichen eine schnelle Inbetriebnahme ohne aufwändige Systemintegration.
Sichere Analyse durch integrierte Schutzmechanismen
Das System verfügt über mehrere Sicherheitsfunktionen, die den Schutz sensibler Komponenten gewährleisten. Ein DigiLine Full-Range-Sender überwacht kontinuierlich den Totaldruck. Überschreitet dieser eine definierte Schwelle, wird das Filament im Massenspektrometer automatisch abgeschaltet. Diese Schutzmaßnahme verlängert die Lebensdauer der Komponenten, reduziert Ausfallzeiten und minimiert Wartungskosten. Ergänzend kann ein integriertes Absperrventil zur präzisen Steuerung des Ansaugdrucks eingesetzt werden.
Flexible Konnektivität und intuitive Bedienung
Der HiCube Neo RGA unterstützt digitale und analoge Ein- und Ausgänge zur Integration externer Sensoren wie zusätzlicher Vakuummessgeräte oder Durchflusssensoren. Über das integrierte Touch-Display lassen sich nicht nur die Messdaten abrufen, sondern auch Signale angeschlossener Komponenten überwachen. Die PV MassSpec Software bietet einen benutzerfreundlichen Zugang zu allen Systemfunktionen und Analysewerten, was eine umfassende Prozesskontrolle ermöglicht.
Erweiterbare Konfiguration für spezifische Anwendungen
Für maximale Anpassungsfähigkeit kann der Rezipient mit einem Heizgerät ausgestattet werden. Dieses dient der gezielten Desorption adsorbierter Restgase, wodurch Hintergrundsignale reduziert und die Messgenauigkeit verbessert werden. Zusätzliche manuelle Saugventile ermöglichen ein flexibles Probenhandling. Die mobile Einsatzfähigkeit auf einem rollbaren Systemträger erlaubt den ortsunabhängigen Einsatz ohne Demontage.
Branchenübergreifende Einsatzmöglichkeiten und modulare Erweiterungen
Neben Standardanwendungen wie Lecksuche, Vakuumbeschichtung oder Vakuumöfen kann der HiCube Neo RGA in kundenspezifisch erweiterten Konfigurationen eingesetzt werden. Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions bietet außerdem teilmontierte Lecktestmodule für Produktions- und Vorserienfertigung an. Mit umfassender Erfahrung in der Integration mechanischer und softwaretechnischer Komponenten unterstützt das Unternehmen auch komplexe Implementierungen in Halbleiter-, Pharma- und Metallurgieprozessen.